SK海力士加速量產第四代記憶體：新舊工廠齊上EUV光刻機

2020-11-27 19:02:03

目前，EUV光刻機的部署安裝主要在臺積電、三星的晶圓代工廠。不過，記憶體廠商們也開始著手上馬了。

此前，SK海力士規劃的是為年底建成的M16工廠配備，但來自德國CB的訊息稱，M14老廠也會引進。

EUV光刻機參與的將是SK海力士的第四代（1a nm）記憶體，在記憶體業內，目前的代際劃分是1x、1y、1z和1a。

EUV光刻機的參與可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，並提高效能。

當然，EUV光刻機實在是香餑餑。唯一的製造商ASML（荷蘭阿斯麥）產能極有限，儘管一臺要10億元左右，可仍舊供不應求。這一回新老工廠其上位，不知道SK海力士從ASML那裡敲定了多少臺。

另外，本次報道稱，三星2021年將投產EUV工藝生產的記憶體，也就是早些時候釋出的16Gb容量LPDDR5。