大手筆 SK海力士與ASML籤合同：4.8萬億韓元購買EUV光刻機

2021-02-25 10:00:10

隨著半導體工藝進入10nm節點以下，EUV光刻機成為制高點，之前臺積電搶購了全球多數的EUV光刻機，率先量產7nm、5nm工藝，現在記憶體廠商也要入場了，SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機。

據報道，SK海力士與ASML公司簽訂了一個超級大單，未來5年內將斥資4.8萬億韓元，約合43.4億美元購買EUV光刻機。

SK海力士在一份監管檔案中稱，這筆交易是為了實現下一代工藝晶片量產的目標。

ASML及SK海力士都沒有透露這麼多資金到底購買了多少臺EUV光刻機，不過從之前均價1億歐元的資料來看，SK海力士這次購買的EUV光刻機大約是40臺。

如果扣除配套的服務費用，那麼總數量也有可能在30-35臺左右，依然不可小覷，畢竟ASML的EUV光刻機去年的銷量也不過31臺。

從各方面的資料來看，SK海力士未來幾年中也會是ASML的EUV大客戶。

此外，SK海力士是全球第二大記憶體晶片廠商，這次購買的EUV光刻機主要也是用於新一代記憶體顆粒，此前訊息稱SK海力士今年下半年在利川廠區M16採用EUV光刻機生產第四代（1a nm）DRAM產品。

對記憶體來說，它跟CPU邏輯工藝一樣面臨著需要微縮的問題，EUV光刻機可以減少多重曝光工藝，提供工藝精度，從而可以減少生產時間、降低成本，並提高效能。