在晶片製造的過程中,光刻機是最關鍵的裝置之一,也是攻克難度最高的裝置。長期以來,荷蘭ASML憑藉著在光刻機行業的壟斷地位,掐住了全球晶片製造業的脖子。資料顯示,在2019年全球光
2021-06-10 18:24:34
在晶片製造的過程中,光刻機是最關鍵的裝置之一,也是攻克難度最高的裝置。
長期以來,荷蘭ASML憑藉著在光刻機行業的壟斷地位,掐住了全球晶片製造業的脖子。資料顯示,在2019年全球光刻機市場中,ASML獨佔74%的市場。在EUV光刻機市場中,ASML更是實現了100%的壟斷。
中國的晶片製造產業,也被ASML掐在手中。至今,ASML仍未鬆口賣EUV光刻機給中國大陸企業,這令我國實現10nm及以下製程晶片困難重重。
ASML的舉措讓中國企業有了深深的危機感,意外盤活了國產光刻機。近年來,國產光刻機產業取得了越來越多的成績。
據企查查顯示,日前科益虹源股權發生變更,華為旗下的哈勃投資成為第七大股東,佔股為4.76%。科益虹源在光源系統領域表現優異,而光源系統則是光刻機的三大核心技術之一。
值得注意的是,除華為外還有許多企業也入股了科益虹源。這表示,更多的資本開始關注中國光刻機產業,中國光刻機企業有更多的資金用於研發。
雖然我國在光刻機領域,仍不能與ASML相抗衡,但我國在光刻機及關鍵產業都打下了一定的基礎。這成為我國光刻機崛起的底氣。
在光刻機的核心部件——雙工件臺上,華卓精科已經取得突破。它是全球除ASML之外,唯一掌握高階光刻機雙工件臺的企業,目前已經可以生產浸沒式28nm光刻機DWSi系統雙工件臺,表現亮眼。
除科益虹源、華卓精科外,我國還有國望光學、國科精密、啟爾機電這三家光刻機產業鏈企業,它們分別紮根於物鏡系統、曝光光學系統以及浸沒系統領域。
這五大供應商,共同填補了我國光刻機核心部件上的空白,具有重要意義。
此外,我國高校、科研機構也頻頻傳來新突破,為國產光刻機的突圍帶來了更多的可能性。
譬如,今年2月份清華大學工程物理系實現穩態微聚束(SSMB)的首個原理驗證實現。據瞭解,SSMB功率大、波長短的特性,使其有望作為未來EUV光刻機的光源。
由此不難看出,國產光刻機正在快速崛起。
從上述種種事件來看,ASML CEO的預言正在上演,他曾表示,若禁止光刻機出口中國,中國可能在3年內就掌握這項技術。
十分期待國產光刻機突出重圍的這一天。
文/BU 稽核/子揚 校正/知秋
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