被禁止出口的材料，製造光刻機關鍵技術，國產領先海外數十年

2021-06-10 19:30:18

在大多數人的印象中，在半導體領域起步晚的中國，往往是被實施封鎖的一方。但事實上，我國的研發能力並不差，而且也掌握了不少核心技術或者關鍵材料。

BBO這類中國創造的非線性光學晶體，就曾是被我國禁止出口的材料之一。

所謂BBO，指的是低溫相偏硼酸鋇，屬於非線性光學晶體的一種，能夠改變鐳射的輸出頻率或者波長。

筆者瞭解到，國產BBO能夠將近紅外鐳射轉變為綠光鐳射、紫外鐳射等波長更短的鐳射。

眾所周知，在晶片製造領域，作為核心光源的鐳射的波長越短，就越能夠實現高精度的光刻工藝。

而中國推出BBO是在1986年，在那個年代，BBO在全球半導體制造業引起的轟動可想而知。

甚至於，同年4月28日，幾十名來自美國的頂尖專家、科學家們被緊急召集起來討論：「為什麼國際最先進的非線性光學材料的物理思想，來自中國而不是美國？」

即便如此，美國人仍然沒能阻擋住橫空出世的「中國晶體」的爆發。

在推出BBO之後，我國很快便研製出LBO、KBBF等更先進的光學晶體。其中1989年出世的KBBF，還打破了當時整個國際鐳射界的「200nm壁壘」。

彼時，國產領先海外數十年，連美國都將國產KBBF晶體視為戰略物資。直到2009年，我國才意識到光學晶體的重要性，並正式停止對外出口。

然而，即便中國掌握了核心材料，擁有全球最先進的非線性光學晶體。但在被海外實施技術封鎖的情況下，其他零部件長期落後於海外巨頭。

這導致，至今為止，國內整個鐳射產業鏈仍然無法實現獨立自主。在部分高階裝置上，更是高度依賴進口。

申萬宏源公佈的資料表明，我國中低功率鐳射器的國產化率都達到了50%以上，但高功率鐳射器國產化程度還不足40%。

除了高階裝置國產化程度低之外，國內鐳射產業集中度也亟待提升。

據筆者瞭解，直到2019年，我國形成規模的鐳射企業超過150家，年收入超過50億的只有兩家，能夠引領中國鐳射產業發展進階的龍頭企業太少。

在產業協同效應受限、配套產業發展不完善的情況下，我國並沒有享受到自己在光學晶體技術上領先世界的福利。

放眼全球，美國、歐洲等國家和地區正在加緊光學晶體的研發。如果我國不能在保證技術優勢的同時壯大整個產業鏈，很可能會令鐳射產業陷入更嚴峻的被動局面。

文/諦林審/球子