在晶片製造的過程中,需要應用到很多關鍵裝置及材料。受眾所周知的原因影響,目前最為人熟知的關鍵裝置當屬光刻機,至於材料,筆者最熟悉的就是光刻膠。光刻膠是晶片製造領域最普遍
2021-06-03 22:04:27
在晶片製造的過程中,需要應用到很多關鍵裝置及材料。受眾所周知的原因影響,目前最為人熟知的關鍵裝置當屬光刻機,至於材料,筆者最熟悉的就是光刻膠。
光刻膠是晶片製造領域最普遍也最核心的材料,目前高階光刻膠製造技術仍然被掌握在日企手中。
需要注意的是,日本企業掌握的半導體領域核心材料並非只有光刻膠。
晶片製造的核心材料
光罩,也被稱之為光掩膜版,就是幾十種被日企把控核心技術的關鍵材料之一。
據悉,光罩是一種由石英為材料製成的,可以用在半導體曝光製程上的膜版。
眾所周知,為了製造一顆晶片,需要幾百道工序,一張光掩膜版不可能完成任務。隨著工藝製程的微縮,半導體曝光過程中需要的光掩膜版數量也就越多。
例如14nm工藝製程大約需要60張光掩膜版,而7nm就可能需要80張甚至更多光掩膜版。
而且,光掩膜版也有品質高低之分,精度越高的工藝,對光掩膜版的精度要求也就越高。
目前中國企業在高階光掩膜版上仍然高度依賴進口,一眾日本巨頭不僅壟斷了中國高階市場,還幾乎壟斷了全球市場。
日企獨佔85%全球市場
放眼全球半導體光掩膜版市場,與全球EDA工具市場一樣,正處於嚴重的寡頭壟斷局面。
長期以來,Photronics、大日本印刷株式會社DNP和日本凸版印刷株式會社 Toppan三家佔據80%以上的市場份額。
其中,凸版印刷株式會社是全球最大的光罩生產商,市場佔有率超過30%。反觀我國的光掩膜版行業,仍然只能夠滿足國內中低端市場的需求。
至於一眾日本企業能夠處於絕對壟斷地位的原因,筆者認為,主要是因為技術上的領先,和配套產業的發展。
基於材料領域的資源優勢日本材料企業的發展非常迅速。而且,配套產業也在同步建設,並與材料巨頭形成協同作用,共同推進日本半導體材料產業的升級。
以主營光掩膜版檢測裝置研發、生產和銷售的Lasertec為例。早在1976年,該公司就成功研發出全球首臺自動LSI光罩檢測系統。
在2019年,Lasertec又推出了對已印有晶圓設計的模板進行檢測的裝置,並壟斷了這個細分領域。
此外,光掩膜版系統的複雜性,面對入局者豎起了高高的技術壁壘。筆者瞭解到,光掩膜版的製造和應用需要歷經石英基板製造、沉積光刻膠層等十幾個環節。
只看這個過程,就需要企業具備出眾的技術實力、知識儲備以及豐富的經驗。很顯然,這也正是中國企業所欠缺的地方。
不過,為了打破海外壟斷,掌握主動權,中國企業正在破局。
中國企業破局優勢
筆者認為,在攻關路上,目前中國企業具備以下三大優勢。
一,企業實力
雖說尚且無法與國際大廠抗衡,但部分中國企業已經取得了不錯的成績,例如主營石英玻璃材料製備的菲利華。
據筆者瞭解,該公司是全球第五、中國第一傢俱備半導體原產裝置廠商供應商資格的企業。
旗下FLH321和FLH321L牌號產品都成功進入全球半導體產業鏈,菲利華在生產G8代大尺寸、高精度TFT-LCD光掩膜基板的技術能力上,也達到國際先進水平。
總而言之,菲利華是現階段國內半導體配套石英行業,當之無愧的領軍者。除了菲利華之外,南大光電,晶瑞股份等也在各自擅長的領域發光發熱,未來可期。
二,政府支援
對於高精尖產業攻關,國家政府一向是鼎力支援。近年來,針對目前被卡脖子的現狀,政府推出了一系列利好政策,並設立了大基金等「官方」投資機構,為中國企業撐腰。
包括南大光電、晶瑞股份在內的行業龍頭,背後都有國家大基金的身影。
三,環境利好
全球半導體產業正在向東亞轉移,中國將成為世界上最大的半導體市場。廣闊的前景為中國企業帶來了絕佳的發展機遇。
2020年下半年蔓延至今的缺芯潮,同樣為中國半導體產業鏈上游的企業提供了進階機會。
隨著配套產業的完善,高階光掩膜版的國產替代指日可待。
文/諦林 稽核/子揚 校對/知秋
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