國產光刻機即將下線，日企卻掐斷關鍵原料，中企補齊行業空白

2021-06-06 20:14:13

在晶片生產過程中，光刻機無疑是最為關鍵的核心裝置之一。一直以來，荷蘭ASML公司都在全球的光刻機市場一家獨大，國內企業只能艱難追趕。

國產取得突破

雖然在高階EUV光刻機市場，ASML壟斷了絕大部分市場份額，但這並不代表國內廠商絲毫沒有機會。

近日，國內最大的光刻機廠商上海微電子便傳出好訊息，公司研發的28nm光刻機將在2021年內交付。這意味著，國產光刻機將迎來重大突破。

自2002年成立以來，上海微電子已經在光刻機市場的多個細分領域取得了突破，累計申請的專利超過2400項。

目前，上海微電子已經可以量產90nm及以上工藝製程的光刻機，實現了國產光刻機從0到1的突破；在封測環節，上海微電子的封裝光刻機也已經實現批量出貨，成為日月光等行業頭部企業的供應商。

目前，受晶片缺貨潮影響，全球範圍內的晶圓代工廠商都拉滿產能。其中，28nm等成熟工藝製程的產能尤為緊張，如果上海微電子真的能夠儘快推動28nm光刻機的出貨，這將進一步提高國內半導體企業在全球市場的話語權。

日企掐斷關鍵原料

雖然光刻機對於晶片生產至關重要，但光刻機的生產過程還離不開一項關鍵原材料，這便是光刻膠。因此，上海微電子在光刻機領域取得的突破固然可喜，但國內產業界也不能忽視光刻膠的卡脖問題。

在全球光刻膠市場，日企佔據了絕對優勢，JSR、東京應化、信越化學等巨頭壟斷了全球超過85%的市場份額，國內企業也只能依賴進口。

不過，根據多家媒體的最新訊息，由於光刻膠產能緊張，信越化學等不得不停止向國內供應KrF光刻膠，國內多家晶圓廠面臨「無膠可用」的窘境。

產能緊張、進口光刻膠價格上漲等，都在倒逼國產光刻膠加快發展速度，儘快補齊行業空白。從2020年至今，晶瑞股份、南大光電、彤程新材等國產光刻膠龍頭企業，陸續在KrF光刻膠方面取得突破。

比如，晶瑞股份研發的KrF光刻膠已經完成中試，正在進入客戶測試階段；彤程新材的ArF光刻膠已經通過專項驗收，開始在國內多家晶圓廠匯入應用。

綜合來看，日企的斷供推動了國產光刻膠的研發、應用進度，配合國產光刻機取得的突破，「中國芯」的春天將加速到來。

文/禹汐稽核/子揚校對/知秋