晶片製造的高階裝置，日美壟斷全球96%的市場，國產在夾縫中崛起

2021-06-19 18:25:30

6月17日，華海清科在上交所科創板上會通過。據瞭解，華海清科是一家生產晶片製造的高階裝置廠商，主要產品為化學機械拋光（CMP）裝置。同時，其也是目前國內唯一一家能夠提供半導體12英寸CMP商業機型的廠商。

晶片製造前道工序，主要包括光刻、CMP、刻蝕、薄膜和摻雜五大關鍵的工藝技術，其中CMP是先進積體電路製造的前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵製程工藝，CMP裝置的重要性也就不言而喻。

而CMP裝置和光刻機一樣，市場份額高度集中，基本都是被外企所掌控。

公開資料顯示，在CMP裝置領域，美國應用材料和日本荏原兩家公司，壟斷了全球96%的CMP裝置市場，而我國絕大部分的高階CMP裝置主要都是由美國應用材料和日本荏原提供。對於當前正在嘗試突破晶片封鎖的中國而言，CMP裝置的自主化尤為重要。

就目前來看，我國的華海清科已經向美國應用材料和日本荏原發起了挑戰，並實現了12英寸系列CMP裝置的銷售。

據瞭解，華海清科研發的CMP裝置均是自主研發，並實現對海內外客戶先進大生產線的產業化應用，在邏輯晶片製造、3D NAND製造等領域的工藝技術水平，已經突破至14nm、128層，已經達到國內生產線最高的水平。

不僅如此，華海清科生產的12英寸的CMP裝置被廣泛應用到生產線上，而產品的總體技術性已經達到了國際的先進水平，同時，填補了國內CMP裝置的空白，打破海外在此領域長達數十年的壟斷局面。

更值得一提的是，華海清科自主研發的CMP裝置已經進入中芯國際、長江儲存、華虹集團、英特爾等行業知名積體電路企業，並取得良好的口碑。

其實，華海清科是所以能在日美壟斷的局面，成功在夾縫中崛起，主要得益於該企業在CMP裝置上的高研發投入。

華海清科在2018年-2020年，研發金額持續加大，達到了3160.84萬元、4496.99萬元、5836.17萬元，佔營收入比重分別為88.63%、21.32%、15.12%。

僅在近三年的時間裡，華海清科便在CMP裝置上累計投資高達13493.99萬元，佔同期營收佔比21.33%。

不僅如此，華海清科背後的實際控制人為清華大學。一直以來清華大學便為華海清科提供技術和人才的支援，雙方開展產學研合作。

正是因為如此，華海清科才會在CMP裝置領域成功打破海外企業的壟斷。

隨著華海清科等諸多CMP裝置企業不斷崛起，企業綜合競爭力不斷提升，外資品牌的產品在國內的影響力逐漸減縮，國產CMP裝置的替代率也將進一步提升。

文/球子審/JING