日企壟斷的晶片材料，國產取得技術突破，幫助1nm晶片實現量產

2021-06-23 15:50:20

在半導體材料領域，日本領先地位明顯，牢牢卡住全球晶片產業的脖子。尤其是在氟化氫、氫氟酸領域，日本更是實現了高度壟斷。

氫氟酸是半導體制造所需的關鍵材料，主要用於清洗晶圓表面、清洗和刻蝕等步驟。在電子級氫氟酸的基礎上，可加工出電子級氟化氫。

氟化氫同樣晶片製造所需的關鍵材料，但製造技術難度更大，在半導體基板切割、去除膜沉積後粘附在化學氣相沉積爐內的不必要化學物質等方面有重要發揮，應用十分廣泛。

在電子級氫氟酸領域，中國企業的產品質量偏低，且產能利用率較低。反觀日本，日本已經成為全球最大的氟化氫供應國，其產品純度最高、價格便宜，產能也相當亮眼，幾乎俘獲了大多數半導體制造企業的心。

在電子級氟化氫領域，我國更是對日本、美歐等高度依賴。這使得我國在氫氟酸、氟化氫領域受制於人，於我國晶片產業安全不利。

2019年7月，日本對韓國氟化氫等半導體原材料發起限制，致使日本半導體企業產能受挫，引發了不小的危機。

這一事件給中國企業以不小的警醒，中國必須儘快補足在氫氟酸、氟化氫上的短板，不能重蹈韓國覆轍。

在多年的努力中，我國已有天賜材料、巨化股份、三美股份等中國氫氟酸領先企業，鬆動了日本壟斷氫氟酸市場的格局。

其中，巨化股份的表現尤為優異，能幫助1nm晶片實現量產。

據巨化股份在互動平臺上透露的資訊顯示，巨化股份是我國首家量產並供應1x納米制程所需電子級氫氟酸的企業。同時，巨化股份還是我國首家同時具備氯氣、氯化氫、氟化氫等刻蝕清洗用電子氣體產業化能力的企業。

如今，巨化股份已經在高純度電子氣體領域，成功躋身全球領先企業。巨化股份為我國打破日本企業壟斷，作出了重要貢獻。

在更高難度的高純度氟化氫領域，我國也有突圍的希望，我國並非沒有製造該材料的能力。

但是，我國在這一領域起步較晚，而且高純度氟化氫對技術與工藝有頗高的要求，因此，我國想要在這一領域實現突破還要假以時日。

不過，隨著我國對半導體產業重視程度的不斷提升，相信我國在氫氟酸、氟化氫領域，還將迎來更多的突破。

文/BU 稽核/子揚校正/知秋